显影机

. 产品简介

显影机（WH-XY-02）是汶颢股份自主开发的具有独立知识产权的一款产品，针对光刻工艺中的显影过程而设计开发的，可以对7英寸以下规格的硅片进行程控式自动化显影。该设备可完全替代微流控芯片制作过程中的手动显影环节，克服了手动显影过程中的显影液加入量不可控、硅片显影时间不可控、同规格硅片间隔显影效果不可控，较大程度上减少操作人员人为因素导致的显影质量问题以及硅片的损坏。

2. 技术参数

² 震荡方向：顺时针/逆时针

² 转速：110～250RPM

² 液量控制：50～500mL

² 适配硅片/芯片：3寸,4寸,5寸

² 显影时间：0～999s

² 进液速度：0～**

² 电源输入：AC220V±10V/50HZ

² 功率：150W

² 重量：14 kg

² 外形尺寸：375（W）* 380（D）* 300（H）mm

² 工作环境：温度0℃-40 ℃，相对湿度＜80 %